北京康视杰申请晶圆预对准专利,提高对准精度

  • 2025-03-29 13:13:47   
  • 李明朝
  • 快讯

  国家知识产权局信息显示,北京康视杰智能科技有限公司申请一项名为“一种晶圆预对准方法及装置”的专利,公开号CN 119694963 A,申请日期为2024年12月。

  专利摘要显示,本发明适用于晶圆加工技术领域,提供了一种晶圆预对准方法及装置。本发明通过在晶圆放置之后,进行光照补充,并对晶圆进行拍摄,获取拍摄图像数据;对拍摄图像数据进行分析和计算,确定晶圆切角的位置偏差,规划相应的调整参数;按照调整参数,对晶圆进行多方位的对准调整。能够具有高效的光学检测和图像处理过程,提高对准精度,且能够实现高水平的操作自动化,以满足大规模生产环境的需求,从而能够显著提升晶圆预对准在半导体制造中的应用效果,提供更高效、更准确的对准效果。

  天眼查资料显示,北京康视杰智能科技有限公司,成立于2013年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币,实缴资本400万人民币。通过天眼查大数据分析,北京康视杰智能科技有限公司参与招投标项目26次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息17条,此外企业还拥有行政许可3个。

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